Desain optik boga rupa-rupa aplikasi dina widang semikonduktor. Dina mesin fotolitografi, sistem optik tanggung jawab pikeun museurkeun sinar cahaya anu dipancarkeun ku sumber cahaya sareng ngajukeun kana wafer silikon pikeun ngalaan pola sirkuit. Ku alatan éta, rarancang jeung optimasi komponén optik dina sistem photolithography mangrupakeun cara penting pikeun ngaronjatkeun kinerja mesin photolithography. Ieu sababaraha komponén optik anu dianggo dina mesin fotolitografi:
Tujuan proyéksi
01 Tujuan proyéksi nyaéta komponén optik konci dina mesin litografi, biasana diwangun ku runtuyan lénsa kaasup lénsa convex, lénsa kerung, jeung prisma.
02 Fungsina nyaéta pikeun ngaleutikan pola sirkuit dina topéng sareng museurkeun kana wafer anu dilapis ku photoresist.
03 Akurasi sareng kinerja tujuan proyéksi gaduh pangaruh anu penting dina résolusi sareng kualitas pencitraan mesin litografi.
Eunteung
01 Eunteungdipaké pikeun ngarobah arah cahaya jeung ngarahkeunnana ka lokasi nu bener.
02 Dina mesin litografi EUV, kaca spion penting pisan sabab lampu EUV gampang diserep ku bahan, jadi kaca spion anu reflektivitas tinggi kedah dianggo.
03 Akurasi permukaan sareng stabilitas pemantul ogé gaduh pangaruh anu hadé dina kinerja mesin litografi.
Saringan
01 Saringan dipaké pikeun miceun panjang gelombang cahaya nu teu dihoyongkeun, ngaronjatkeun akurasi jeung kualitas prosés photolithography.
02 Ku milih saringan anu pas, tiasa dipastikeun yén ngan ukur cahaya tina panjang gelombang khusus anu asup kana mesin litografi, ku kituna ningkatkeun akurasi sareng stabilitas prosés litografi.
Prisms jeung komponén séjén
Salaku tambahan, mesin litografi ogé tiasa nganggo komponén optik bantu sanés, sapertos prisma, polarizer, sareng sajabana, pikeun nyumponan sarat litografi khusus. Pamilihan, rarancang sareng pembuatan komponén optik ieu kedah leres-leres nuturkeun standar téknis anu relevan sareng sarat pikeun mastikeun katepatan anu luhur sareng efisiensi mesin litografi.
Kasimpulanana, aplikasi komponén optik dina widang mesin litografi boga tujuan pikeun ngaronjatkeun kinerja sarta efisiensi produksi mesin litografi, kukituna ngarojong ngembangkeun industri manufaktur microelectronics. Kalayan ngembangkeun téknologi litografi anu terus-terusan, optimasi sareng inovasi komponén optik ogé bakal nyayogikeun poténsi anu langkung ageung pikeun ngahasilkeun chip generasi salajengna.
Pikeun langkung seueur wawasan sareng saran ahli, kunjungan halaman wéb kami dihttps://www.jiujonoptics.com/pikeun leuwih jéntré ngeunaan produk jeung solusi urang.
waktos pos: Jan-02-2025
