Substrat:Pilihan
Toleransi dimensi:-0,1 mm
Toleransi ketebalan:± 0,05 mm
Flatness permukaan:1(0.5)@632.8nm
Kualitas permukaan:40/20
Ujung:Taneuh, 0.3mm max. Bevel lebar pinuh
Hapus aperture:90%
Paralelisme:<30”
Lapisan:Rabs<0.3% @Desain Panjang gelombang